Студентам > Рефераты > Акустоэлектроника
Акустоэлектроника
Акустоэлектроника – это направление функциональной
микроэлектроники, основанное на использовании пьезоэлектрического эффекта, а
также явлений, связанных с взаимодействием электрических полей с волнами
акустических напряжений в пьезоэлектрическом полупроводниковом материале. По
существу, акустоэлектроника занимается преобазованием акустических сигналов в
электрические и электрических в акустические. Обратим внимание на то, что
данное определение аналогично определению оптоэлектроники, где речь идет о
взаимных преобразованиях оптических и электрических сигналов.
На рис. 1, а показана структура элементарной
ячейки кварца, состоящей из 3х молекул диоксида кремния. При отсутствии
деформации центр тяжести положительных и отрицательных ионов совпадает (плюсом
отмечены ионы кремния, минусом – кислорода). Сжатие кристалла в вертикальном
направлении (рис. 1, б) приводит к смещению положительных ионов вниз, а
отрицательных вверх. Соответственно, на наружных электродах появляется разность
потенциалов. Рассмотренное явление называют прямым пьезоэлектрическим
эффектом. Существует и обратный пьезоэффект, когда под действием
приложенного напряжения и в зависимости от его полярности пьезокристалл (кварц,
сегнетова соль, турмалин и др.) поляризуется и изменяет свои геометрические
размеры. Если же к пьезокристаллу приложить переменное напряжение, то в нем
возбуждаются механические колебания определенной частоты, зависящей от размеров
кристалла.
Явления прямого и обратного пьезоэффекта известны
давно. Однако лишь в последние годы, благодаря развитию полупроводниковой
техники и микроэлектроники, удалось создать качественно новые акустоэлектронные
функциональные устройства.
Одним из основных приборов акустоэлектроники
является электроакустический усилитель (ЭАУ). На рис. 2 показана схема такого
усилителя на объемных волнах. На торцах полупроводникового звукопровода (З)
расположены пьезоэлектрические преобразователи (П), которые с помощью омических
контактов (К) присоединены с одной стороны к звукопроводу, а с другой – к
входным и выходным клеммам. При подаче на вход переменного напряжения во
входном пьезопреобразователе возбуждается акустическая волна, которая
распространяется по звукопроводу. Взаимодействие волны с движущимися в том же
направлении по полупроводниковому звукопроводу электронами обеспечивает ее
усиление. Рассмотрим это явление. Предположим, что в звукопровод вводится
гармоническая продольная акустическая волна, движущаяся со скоростью
Vв. Давление в кристалле при
этом от точки к точке меняется. В тех местах, где кристалл сжимается, пьезо-э.
д. с. замедляет движение электронов, а в тех местах, где растягивается, –
ускоряет. В результате этого в начале каждого периода волны образуются сгустки
электронов. При Vэ > Vв сгустки движутся в
тормозящих участках волны и передают ей свою энергию, чем и обеспечивается
усиление. Подобные акустоэлектронные усилители могут давать выходную мощность
сигнала порядка нескольких ватт, имея полосу пропускания до 300 МГц.
Их объем (в микроэлектронном
исполнении) не превышает 1 см3.
Основным недостатком объемных ЭАУ является
сравнительно большая мощность, рассеиваемая в звукопроводе. Более
перспективными в этом отношении являются ЭАУ на поверхностных волнах. Структура
такого усилителя показана на рис. 3, а. С помощью входного решетчатого
преобразователя (рис. 3, б), напыляемого на поверхность
пьезоэлектрического кристалла Пэ, в последнем возбуждается
акустическая волна. На некотором участке поверхность пьезокристалла
соприкасается с поверхностью полупроводниковой пластины, в которой от источника
Е проходит ток. Следовательно, на участке поверхностного контакта
пьезокристалла и полупроводника произойдет взаимодействие акустической волны с
потоком электронов. Именно на этом участке происходит акустическое усиление
сигнала, который затем снимается в виде усиленного переменного напряжения с
выходного преобразователя, работающего в режиме обратного пьезоэффекта.
Достоинство ЭАУ поверхностного типа состоит в том,
что материалы пьезоэлектрика и полупроводника могут быть разными. Первый из них
должен обладать высокими пьезоэлектрическими свойствами, второй – обеспечивать
высокую подвижность электронов. В качестве полупровдникового слоя в подобных
усилителях используют обычно кремниевый монокристалл n-типа толщиной около 1 мкм,
выращенный на сапфировой подложке эпитаксиальным способом. Этот материал имеет
удельное сопротивление порядка 100 Ом·см и
подвижность носителей заряда до 500 см2/(В·с). Длина рабочей части поверхностного ЭАУ составляет примерно
10 мм, ширина 1.25 мм, потребляемая мощность постоянного тока порядка 0.7 Вт.
Акустоэлектронные устройства являются весьма
перспективными, особенно для широкополосных схем и схем сверхвысокочастотного
(СВЧ) диапазона.
Литература
1. Б.С. Гершунский. Основы электроники и
микроэлектроники. – К.: Вища школа, 1989, 423 с.
Приложение
Copyright © Radioland. Все права защищены. Дата публикации: 2004-09-01 (292 Прочтено) |