Студентам > Рефераты > Расчет распределения примесей в кремнии
Расчет распределения примесей в кремнииСтраница: 3/6
1.2.3 Расчет
распределения Si-Sb.
Расчет
распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в
слитке кремния (пункт 1.2.1), при
тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в
см-3. Атомная масса сурьмы =
121,7
N0=0,02 % (массовых)
= 4,62×10-3 % (атомных)
= 2,31×1018 см-3.
Для
расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением
(4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см
из задания.
Подставляя
значения k0,
d/Dж, Vкр в
(4), вычислим kэфф. Для трех скоростей
кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с
соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.
Заполним
расчетную таблицу.
Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного
сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход
расплавленной зоной).
|
Участок зонной плавки
|
Участок направленной Кристаллизации
|
|
а
|
Nтв, см-3
|
r , Ом×см (по кривым Ирвина)
|
g
(a=10)
|
Nтв, см-3
|
r , Ом×см (по кривым Ирвина)
|
|
Vкр=2,5×10-3 см/с
|
|
0
|
8,64 1016
|
0,11
|
0
|
7,22 1017
|
0,028
|
|
1
|
1,68 1017
|
0,075
|
0,2
|
8,95 1017
|
0,023
|
|
2
|
2,47 1017
|
0,052
|
0,4
|
1,18 1018
|
0,0215
|
|
3
|
3,22 1017
|
0,047
|
0,6
|
1,74 1018
|
0,0192
|
|
4
|
3,95 1017
|
0,04
|
0,8
|
3,4 1018
|
0,014
|
|
5
|
4,66 1017
|
0,038
|
0,9
|
6,62 1018
|
0,0082
|
|
6
|
5,33 1017
|
0,033
|
0,99
|
6 1019
|
0,00135
|
|
7
|
6 1017
|
0,031
|
-
|
-
|
-
|
|
9
|
7,22 1017
|
0,028
|
-
|
-
|
-
|
|
Vкр=8,33×10-3 см/с
|
|
0
|
2,54 1017
|
0,051
|
0
|
1,55 1018
|
0,02
|
|
1
|
4,68 1017
|
0,038
|
0,2
|
1,89 1018
|
0,018
|
|
2
|
6,6 1017
|
0,03
|
0,4
|
2,44 1018
|
0,016
|
|
3
|
8,32 1017
|
0,027
|
0,6
|
3,5 1018
|
0,013
|
|
4
|
9,86 1017
|
0,024
|
0,8
|
6,49 1018
|
0,0085
|
|
5
|
1,12 1018
|
0,022
|
0,9
|
1,2 1019
|
0,0055
|
|
7
|
1,36 1018
|
0,0205
|
0,99
|
9,3 1019
|
0,00088
|
|
8
|
1,46 1018
|
0,02
|
-
|
-
|
-
|
|
9
|
1,55 1018
|
0,02
|
-
|
-
|
-
|
|
Vкр=2,5×10-2 см/с
|
|
0
|
1,8 1018
|
0,019
|
0
|
2,31 1018
|
0,0157
|
|
1
|
2,08 1018
|
0,017
|
0,2
|
2,42 1018
|
0,0156
|
|
2
|
2,2 1018
|
0,016
|
0,4
|
2,58 1018
|
0,015
|
|
3
|
2,26 1018
|
0,0158
|
0,6
|
2,82 1018
|
0,014
|
|
5
|
2,3 1018
|
0,0157
|
0,8
|
3,29 1018
|
0,0137
|
|
7
|
2,31 1018
|
0,0157
|
0,9
|
3,83 1018
|
0,012
|
|
9
|
2,31 1018
|
0,0157
|
0,99
|
6,36 1018
|
0,0086
|
|
Главная
Документация
Файлы
Информация
